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企業(yè)概況
- 主營(yíng)行業(yè)：燒結(jié)設(shè)備
- 法人代表：馬付根
- 注冊(cè)資金：50萬(wàn)
- 經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)型
- 經(jīng)營(yíng)性質(zhì)：私營(yíng)企業(yè)
- 地區(qū)：上海
聯(lián)系方式
- 地址：寶山區(qū)滬太路935-2號(hào)
- 電話：021-33719603
- 傳真：021-33719602
- 手機(jī)：13817293862
- 聯(lián)系人： 馬付根
- Email：[email protected]
- http://www.sh-vac.com
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供求信息
供應(yīng)CVD涂層設(shè)備
發(fā)布時(shí)間：2014-11-29 9:29:11
CVD涂層設(shè)備技術(shù)參數(shù)
一、系統(tǒng)的主要組成及技術(shù)指標(biāo)
系統(tǒng)主要由涂層沉積真空室、外加熱爐、氣路系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)等組成，實(shí)現(xiàn)加溫后，通入工作氣體，實(shí)現(xiàn)樣品的涂層生長(zhǎng)等功能。
1.使用機(jī)械泵抽氣真空度可達(dá)到：1Pa；
2.*高溫度：1100℃；
3.真空室內(nèi)徑：230mm;
4.恒溫區(qū)范圍：600mm×230mm
5.進(jìn)氣管直徑：10mm
6.氫氣*大流量：30SLM; 氮?dú)?大流量：100SLM；甲烷*大流量：5SLM
7.浴槽罐的容量：5公斤；水浴加熱*高溫度：100℃；浴槽罐數(shù)量：2套
8.氣管加熱溫度：150℃
一、系統(tǒng)的主要組成及技術(shù)指標(biāo)
系統(tǒng)主要由涂層沉積真空室、外加熱爐、氣路系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)等組成，實(shí)現(xiàn)加溫后，通入工作氣體，實(shí)現(xiàn)樣品的涂層生長(zhǎng)等功能。
1.使用機(jī)械泵抽氣真空度可達(dá)到：1Pa；
2.*高溫度：1100℃；
3.真空室內(nèi)徑：230mm;
4.恒溫區(qū)范圍：600mm×230mm
5.進(jìn)氣管直徑：10mm
6.氫氣*大流量：30SLM; 氮?dú)?大流量：100SLM；甲烷*大流量：5SLM
7.浴槽罐的容量：5公斤；水浴加熱*高溫度：100℃；浴槽罐數(shù)量：2套
8.氣管加熱溫度：150℃
鄭重聲明：以上信息由企業(yè)自行發(fā)布，該企業(yè)負(fù)責(zé)信息內(nèi)容的完整性、真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性。本網(wǎng)站對(duì)此不承擔(dān)任何責(zé)任。