我國半導體材料精密磨粒加工有了“金剛鉆”。近日，記者從河南省柘城縣獲悉，河南力量鉆石股份有限公司參與完成的“半導體材料高質高效磨粒加工關鍵技術與應用”項目榮獲國家科學技術進步獎二等獎。該企業成為河南省商丘市近十年來*獲此殊榮的企業。
半導體器件制造技術是信息、新能源、智能制造等國家戰略性新興產業創新發展的關鍵。由于半導體器件制造過程復雜、要求嚴苛，采用金剛石磨粒工具對半導體材料進行多種形式加工是必不可少的環節。
據統計，我國磨具消耗量全球*，但半導體用系列精密磨具長期依賴進口。
“工具設計缺依據、工具制造遇瓶頸、加工工藝難掌控、加工裝備自主率低等突出問題是制約我國高性能半導體器件自主創新的主要因素�！编嵵菽チ夏ゾ吣ハ餮芯克邢薰緢绦卸�、高性能工具全國重點實驗室主任趙延軍說。這次獲獎的項目針對以上瓶頸，攻克了半導體材料精密磨粒加工系列技術難題，為我國半導體領域高質高效加工解決了關鍵材料的迫切需求。
河南力量鉆石股份有限公司項目部主任陳亞男介紹，作為參與“半導體材料高質高效磨粒加工關鍵技術與應用”項目研發的骨干企業，本次獲獎是繼2023年榮獲河南省科學技術進步一等獎之后，河南力量鉆石股份有限公司在高端超硬材料科技創新方面的又一次突破，解決了高品質微細磨粒批量化生產難題，有力保障了我國高性能半導體器件自主研發和產業鏈安全。
河南省力量鉆石股份有限公司是全國超硬材料行業龍頭企業之一，擁有“河南省功能性金剛石及制品工程技術研究中心”“高品級金剛石大單晶合成河南省工程實驗室”“河南省超硬材料產業創新中心”“河南省培育鉆石產業研究院”等科技創新平臺，目前公司擁有自主研發科技成果20項，全部實現自主轉化。
“下一步，我們將在半導體材料高質高效磨粒加工領域不斷精進，立足自主研發、掌握核心技術，在高端超硬材料科技創新方面不斷實現新突破。”鄭州磨料磨具磨削研究所有限公趙延軍表示。
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